高阻片 (High-resistivity silicon wafer) 是一种电阻率很高的硅晶圆，通常用于制造射频 (RF) 和微波器件。由于其高电阻率，高阻片可减少寄生电容和损耗，从而提高器件性能。
高阻片的优势：
- 高电阻率： 晶基 | WaferShop 的高阻片电阻率可达 10,000 Ω·cm 或更高，可有效减少寄生电容和损耗，显著提高器件性能。
- 低缺陷密度： 晶基 | WaferShop 的高阻片缺陷密度低至 ≤ 50 个/cm² (小于 0.2 微米)，确保器件的卓越可靠性。
- 严格的尺寸控制： 晶基 | WaferShop 严格控制高阻片的尺寸误差，提高器件良率。
- 优异的机械强度和化学稳定性： 晶基 | WaferShop 的高阻片具有优异的机械强度和化学稳定性，可满足苛刻的应用环境需求。
- 与其他半导体材料兼容： 晶基 | WaferShop 的高阻片可与其他半导体材料完美兼容，方便制造工艺的整合。
高阻片的应用领域：
- 射频 (RF) 和微波器件： 晶基 | WaferShop 的高阻片是制造 RF 和微波器件的关键材料，例如滤波器、耦合器、变压器等。高电阻率的高阻片可显著降低 RF 和微波器件的寄生电容和损耗，提升器件性能。
- 光电器件： 晶基 | WaferShop 的高阻片可用于制造光电器件，例如光电二极管、光电晶体管等。低缺陷密度的晶基 | WaferShop 高阻片可确保光电器件的高灵敏度和低噪声。
- 传感器： 晶基 | WaferShop 的高阻片可用于制造传感器，例如压力传感器、温度传感器等。稳定的晶基 | WaferShop 高阻片可确保传感器的精度和可靠性。
- 其他半导体器件： 晶基 | WaferShop 的高阻片可用于制造其他半导体器件，例如功率器件、集成电路等。
高阻片的技术要求主要包括以下几个方面：
电阻率
- 高阻片的电阻率通常以欧姆-厘米 (Ω·cm) 为单位测量。对于 RF 和微波应用，高阻片的电阻率通常在 1,000 Ω·cm 或更高。
- 电阻率越均匀，器件性能越稳定。
缺陷
- 高阻片应具有尽可能少的缺陷，例如晶体缺陷、表面缺陷和污染。
- 缺陷会增加寄生电容和损耗，降低器件性能。
尺寸
- 高阻片的尺寸应满足器件制造的要求。
- 尺寸误差越小，器件良率越高。
其他要求
- 高阻片应具有良好的机械强度和化学稳定性。
- 高阻片应可与其他半导体材料兼容。
以下是一些具体的技术指标：
- 电阻率： ≥ 1,000 Ω·cm
- 缺陷密度： ≤ 50 个/cm² (小于 0.2 微米)
- 厚度： 100 微米至 800 微米
- 直径： 100 毫米至 300 毫米
- 表面粗糙度： RMS ≤ 0.2 微米
高阻片的制造工艺通常包括以下几个步骤：
- 生长高纯度硅晶圆
- 掺杂：通常使用硼或磷掺杂剂来提高硅晶圆的电阻率。
- 切割和抛光：将硅晶圆切割成所需的尺寸并进行抛光。
- 清洗：去除晶圆表面的污染物。
- 检测：检测晶圆的电阻率、缺陷密度和其他参数。
高阻片的质量控制非常重要，因为任何缺陷或尺寸误差都会降低器件性能。制造商通常会对高阻片进行严格的检测和认证，以确保其符合客户的要求。
高阻片在半导体行业中具有广泛的应用，是制造高性能 RF 和微波器件的关键材料。随着无线通信技术的不断发展，对高阻片的需求也将不断增长。
根据 Metoree 的数据，截至 2024 年，全球排名前 5 的高阻硅晶圆制造商如下：
- Alfa Chemistry (中国)
- Wafer World, Inc. (美国)
- WaferPro (美国)
- SIEGERT WAFER GmbH (德国)
- Okmetic (芬兰)
这些公司为全球各地的客户提供各种高阻硅晶圆，用于制造各种 RF 和微波器件。
其他值得注意的高阻硅晶圆制造商包括：
- Siltronic (德国)
- Sumitomo Seiko (日本)
- Globalwafers (台湾)
- Cz Semiconductor (捷克共和国)
- Jiangsu Kaiserein Electronics Technology Co., Ltd. (中国)
晶基 | WaferShop 是一家领先的高阻硅晶圆供应商，致力于为全球客户提供高品质、高性能的高阻片产品和服务。我们拥有多年的行业经验和专业的技术团队，可满足客户多样化的需求。
晶基 | WaferShop 提供多样化的定制服务：
晶基 | WaferShop 可根据客户的具体需求定制生产各种规格、尺寸和电阻率的高阻硅晶圆。我们还提供高阻硅晶圆的清洗和检测服务，确保晶圆的清洁度和质量。
